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上海邁哲電子科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第15年

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日本Ulvac愛發(fā)科|干式真空泵| ER系列節(jié)能的干泵

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品       牌

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更新時(shí)間：2016-05-13 04:13:01瀏覽次數(shù)：2503次

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沈小姐

銷售部
掃一掃，微信聯(lián)系
特點(diǎn)

消耗功率：高達(dá)58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗減少：可以操作與OSLM N 2吹掃
（清潔撤離應(yīng)用）。
杰出的耐腐蝕性
應(yīng)用

沒有一代的升華物質(zhì)的化學(xué)氣相沉積和蝕刻
濺射和裝載/卸載商會(huì)
渦輪分子泵和其他輔助疏散泵

 

ER系列節(jié)能的干泵

ER系列是加入到ULVAC的PDR - C系列，SIN - LPCVD流行，金屬蝕刻和其他苛刻的進(jìn)程產(chǎn)生升華物質(zhì)。
ER系列過程中的應(yīng)用等作為濺射，灰化，蝕刻需要耐腐蝕的。
ER系列是zui節(jié)能的保存在行業(yè)機(jī)型，采用直流無刷電機(jī)和優(yōu)化每一個(gè)疏散階段的能力。
 

 

特點(diǎn)

消耗功率：高達(dá)58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗減少：可以操作與OSLM N 2吹掃
（清潔撤離應(yīng)用）。
杰出的耐腐蝕性
應(yīng)用

沒有一代的升華物質(zhì)的化學(xué)氣相沉積和蝕刻
濺射和裝載/卸載商會(huì)
渦輪分子泵和其他輔助疏散泵
 

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