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一、產(chǎn)品概述
IK20PCD雙閥壓力控制器集成兩個(gè)電磁閥，進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時(shí)，泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓，快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定，同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。
AIK20PCD標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號(hào)，IK20PCD還提供模擬量輸入/出信號(hào)，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程。同時(shí)，可觸控顯示屏使操作更加便捷。IK20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對(duì)應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥，穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測(cè)試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、產(chǎn)品參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S | ||||
| 壓力控制器 | 1:20 | |||||
| 重復(fù)性 | ≤0.1% | |||||
| 傳感器響應(yīng)時(shí)間 | 0.2s | |||||
| 控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測(cè)定條件：1 L/min N2) | |||||
| 運(yùn)行溫度 | -10~+70℃ | |||||
| 溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | |||||
| 漏率 | 1×10-9 SCCS He | |||||
| 方位影響度 （90°變化） | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | |||||
| ＜0.6 KPa（差壓傳感器） | ||||||
| 預(yù)熱時(shí)間 | 忽略不計(jì) | |||||
| 機(jī)械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | ||||
| 工藝連接 | G3/8" | |||||
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | |||||
| 防護(hù)等級(jí)（外殼） | IP40 | |||||
| 電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | ||||
| 數(shù)字輸出 | RS485/RS232 | |||||
| 電氣連接 | DB9 | |||||
四、產(chǎn)品尺寸圖
五、可選配套測(cè)控軟件 （另外收取費(fèi)用）
質(zhì)量流量測(cè)控系統(tǒng)V5.0
IK20P-L壓力控制器 選型表
| 系列號(hào) | IK20P |
| 產(chǎn)品類型 | 【C】壓力控制器 |
| 壓力類型 | 【A】絕壓 【G】表壓 |
| 耐壓范圍 | 【M】3MPa |
| 現(xiàn)場(chǎng)顯示狀況 | 【N】不帶液晶顯示 【X】帶液晶顯示 |
| 壓力范圍 | 【100K】100KPa 【1M】1MPa 【5M】5MPa 【10M】10MPa 【15M】15MPa 【20M】20MPa |
| 被測(cè)介質(zhì) | 詳見密度參照表 |
| 流量輸入信號(hào) | 【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC |
| 輸出信號(hào) | 【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC |
| 供電電壓 | 【5】±15VDC 【4】24VDC |
| 通訊方式 | 【8】RS485 【2】RS232 |
| 密封材質(zhì) | 【V】氟橡膠 【T】丁腈橡膠 【N】氯丁橡膠 【Y】其他 |
| 使用接頭 | 【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他與廠家聯(lián)系 |
| 選型舉例 | IK20P M A M N 100K 007 A1 B1 5 8 V E |
