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PLUTO-80 等離子清洗機/表面處理系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/7/4 9:27:14
  • 訪問次數(shù)186
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上海沛沅儀器設(shè)備有限公司專業(yè)從事等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)和相關(guān)設(shè)備、產(chǎn)品的生產(chǎn),并致力于等離子體應(yīng)用技術(shù)的市場推進(jìn)和產(chǎn)業(yè)化。公司由長期從事等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)、多次參與國家重大科學(xué)工程研究的專家和產(chǎn)業(yè)化專家聯(lián)合創(chuàng)建,核心團隊來自中科院應(yīng)用物理研究所、中國科技大學(xué)、上??萍即髮W(xué),美國橡樹嶺實驗室歸國博士等科研機構(gòu)。公司擁有一批等離子體應(yīng)用技術(shù)方面的專家,建立起一支經(jīng)驗豐富的融合了等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機械設(shè)計加工和成套工程技術(shù)的精英團隊。將團隊本身科研技術(shù)植入到公司產(chǎn)品之中,拓展產(chǎn)品功能,提升產(chǎn)品性能和開發(fā)新的應(yīng)用領(lǐng)域。公司在等離子體領(lǐng)域已經(jīng)積累了一整套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居地位,并已與國內(nèi)外眾多家大學(xué)、科研機構(gòu)和企業(yè)等用戶有著密切的合作關(guān)系。公司的愿景是成為等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)企業(yè),用科研的沉淀和應(yīng)用的創(chuàng)新,為中國的制造業(yè)崛起和化戰(zhàn)略盡自己的義務(wù)和責(zé)任。
PLUTO-80是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達(dá)7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。
PLUTO-80 等離子清洗機/表面處理系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品特點

特點1.jpg

特點2_副本.jpg

技術(shù)參數(shù)

參數(shù).jpg

應(yīng)用領(lǐng)域

PLUTO-80是面向大半導(dǎo)體市場工業(yè)級客戶與研發(fā)型客戶使用需求設(shè)計的等離子處理設(shè)備,適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛

環(huán)境下穩(wěn)定運行,獲得高度均一化的處理效果。

光刻膠去除——去除表面殘膠,形成清潔、活化的表面。


密封前處理——經(jīng)由等離子活化樣品表面,提升塑封料的結(jié)合力,減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。


金屬鍵合前處理——通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層,提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結(jié)合力。


底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動性,消除空洞與起泡,增強填充效果。


表面粗化與微蝕——消除表面盈利,使材料更易結(jié)合。




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