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大口徑等離子刻蝕

參考價	￥ 500000
訂貨量	≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱成都超邁光電科技有限公司
品牌其他品牌
型號surpass大
所在地成都市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2025/6/3 16:19:31
訪問次數(shù)51

產(chǎn)品標簽:

大口徑等離子刻蝕機大口徑干法刻蝕設(shè)備

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公司介紹主營產(chǎn)品

成都超邁光電科技有限公司，為國家標準擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認證。
公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升，具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測手段，擬定國家標準2項，行業(yè)標準1項，為中國物理學(xué)會固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標準化委員會單位，已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產(chǎn)品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè)，具備強大的研發(fā)和制造能力。

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鍍膜機，刻蝕機，新材料產(chǎn)品

產(chǎn)品簡介在線詢價

本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體刻蝕，能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能，使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來進行刻蝕，并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品，通過真空系統(tǒng)排出，特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。

大口徑等離子刻蝕產(chǎn)品信息

｜尺寸：Φ2000mm
｜刻蝕材料：石英、硅、金屬、光刻膠等一切材料
｜刻蝕均勻性：2%~8%（光刻膠）
｜刻蝕速率：50nm~500nm/min真空度（極限）：5x10-4Pa
｜氣路MFC：標配6種氣體，耐腐蝕±0.5%FSI
｜刻蝕表面粗糙增加值：優(yōu)于0.2nm

可根據(jù)客戶技術(shù)要求，定制研發(fā)生產(chǎn)，歡迎咨詢。