溫度范圍:
l 密閉低溫+高溫:-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃
l 真空低溫+高溫:-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃
樣品臺(tái)尺寸:
l 密閉高低溫樣品臺(tái):4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
l 真空高低溫樣品臺(tái):1.25英寸/2英寸/4英寸
顯微觀察倍率:
l 體視顯微鏡:綜合放大倍率14X~200X(配合CCD相機(jī)+顯示器),光學(xué)小分辨率約5微米;
l 金相顯微鏡:綜合放大倍率20X~2000X (配合CCD相機(jī)+顯示器),光學(xué)小分辨率約0.5微米。
微定位座和夾具:
l 器件是幾端口,二極管為2端,三極管為3端,場(chǎng)效應(yīng)管為4端,特殊多端口器件;
l 測(cè)量何種參數(shù),電壓、電流、電阻、電容、單色光、激光、光譜、光強(qiáng)等;
l 配套儀表,數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜儀、信號(hào)發(fā)生器、示波器、鎖相放大器等