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光譜共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微納米量級的非接觸式位移量測系統(tǒng),可測量漫反射/鏡面反射及透明多層材質(zhì)的位移,厚度,也適合深孔/盲孔工件等運用。
光譜共焦傳感器特點:
1非接觸式光學(xué)共焦測量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測頭設(shè)計, 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
3採用白光(可見光)光源系統(tǒng), 相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
4獨特多層材質(zhì)量測演算法, 可量測透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
光譜共焦傳感器/光譜共焦
優(yōu)勢:
1 穩(wěn)定量測各類材質(zhì), 例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等
2 適用於各種工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量測, 例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等
3 高溫高壓等嚴(yán)苛操作條件下亦能適應(yīng)正常使用
光譜共焦傳感器與普通激光位移傳感器區(qū)別
光譜共焦位移傳感器采用白光作為測量介質(zhì),而激光位移傳感器采用的是激光。從原理來講,光譜共焦位移傳感器可以直接照射被測物體,由于白色混合光包含各個顏色的光譜,且在透鏡下會產(chǎn)生色散效應(yīng),距離探頭遠(yuǎn)近不同,反射回來的光顏色會不一樣。zui遠(yuǎn)端是紅色,zui近端是紫色。傳感器靠區(qū)分反射光的顏色就可以知道被測物體距離探頭的遠(yuǎn)近距離了。
激光位移傳感器有幾種,包括三角反射式的,脈沖時間差式的,還有相位差式的。
總的來講光譜共焦位移傳感器精度更高,光斑更小,測量更精細(xì),但價格更貴且調(diào)節(jié)起來有一定技術(shù)含量。普通激光位移傳感器已經(jīng)應(yīng)用的非常普遍了。
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