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壓阻式壓力傳感器與單晶傳感器靈敏度的優(yōu)勢(shì)對(duì)比

2022年08月03日 18:24:57人氣:185來源:深圳市藤倉自動(dòng)化有限公司

  對(duì)壓阻式壓力傳感器使用新的信號(hào)處理技術(shù)的半導(dǎo)體元件能夠?qū)?biāo)準(zhǔn)誤差參數(shù)進(jìn)行精確、自動(dòng)和低成本的電子補(bǔ)償。由此產(chǎn)生的簡化和便利性開辟了廣闊的新應(yīng)用領(lǐng)域,包括將橋式傳感器用于壓力以外的特性。由于大多數(shù)控制系統(tǒng)使用電信號(hào)進(jìn)行操作,因此在進(jìn)一步處理或分析之前,必須將壓力或力轉(zhuǎn)換為電流或電壓。
 
壓阻式壓力傳感器與單晶傳感器靈敏度的優(yōu)勢(shì)對(duì)比(圖1)
  電容和電阻信號(hào)傳感器通常用于此目的。電容式傳感器將壓力檢測(cè)為與兩個(gè)(或更多)隔膜之間的距離相關(guān)的電容,該距離隨壓力的變化而變化。為了提供有用的輸出,這種電容變化通常表示為交流信號(hào)的衰減或諧振電路中的頻移。在電阻式傳感器中,壓力通過使傳感器機(jī)械變形來改變電阻,例如,使橋式電路中的電阻器能夠?qū)毫z測(cè)為跨過橋的比例差分電壓。
 
  傳統(tǒng)的電阻式壓力測(cè)量設(shè)備包括薄膜電阻器、應(yīng)變儀、金屬合金和多晶半導(dǎo)體。近年來,單晶硅壓力傳感器得到廣泛應(yīng)用。雖然采用半導(dǎo)體技術(shù)制造,但它們也根據(jù)電阻原理運(yùn)行。單晶半導(dǎo)體中的電阻變化(壓電效應(yīng))明顯高于標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變儀中的電阻變化,標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變儀的電阻隨結(jié)構(gòu)的幾何變化而變化。摻雜半導(dǎo)體的電導(dǎo)率受極小的機(jī)械變形所產(chǎn)生的變化(晶體網(wǎng)格的壓縮或拉伸)的影響。因此,單晶傳感器的靈敏度高于大多數(shù)其他類型的傳感器。
 
  具體優(yōu)點(diǎn)是:
 
  1.高靈敏度,>10mV/V
 
  2.在恒定溫度下具有良好的線性度
 
  3.能夠在沒有信號(hào)滯后的情況下跟蹤壓力變化,達(dá)到破壞性極限
 
  缺點(diǎn)是:
 
  1.滿量程信號(hào)對(duì)溫度的強(qiáng)非線性依賴性(高達(dá)1%/開爾文)
 
  2.大的初始偏移(高達(dá)滿量程的99%或更多)
 
  3.偏移隨溫度的強(qiáng)烈漂移
 
  在一定限度內(nèi),這些缺點(diǎn)可以用電子電路來彌補(bǔ)。
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