加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2

INFICON  Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環(huán)境設計

的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷

傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有

的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感

器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品

的影響。先進的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可

配置信號調節(jié)，另外還有EtherCAT 現場總線接口可供選

擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶

貴的工具空間。INFICON  Edge是同類產品中最小的真空

測量儀器。

優(yōu)勢

·緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間

·易于集成， EtherCAT,  各種滿刻度和法蘭，標配兩個

設定點

·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移

·診斷端口用于快速維修和維護

·兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長了使

用壽命

·信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子

應用，都無需長期執(zhí)行重新校準

·合規(guī)和標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應用范圍

·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導體生產過程

EdgeTM CDG100D2

訂購資料

1)    優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設置

2)  不能使用現場總線接口

粗體=標準產品

其他法蘭類型可按要求提供。

EdgeTM CDG100D2

規(guī)格

1) 在25°℃環(huán)境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性，運行兩小時后無溫度效應

2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標記“小心燙傷!”

3) 增加10.…90% FS

4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

EdgeTM CDG100D2

EdgeTM CDG100D2

尺寸mm(inch)