標(biāo)題：德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列

主要型號：

RTP-100

RTP-100-EP

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹：

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列

我們專注于RTP/RTA（快速熱處理和快速熱退火）工藝設(shè)備領(lǐng)域，并提供不同設(shè)計的各種型號。我們的工程師努力確定客戶的特定需求并為您開發(fā)合適的產(chǎn)品。我們也很高興在我們公司進行測試。或者您可以向我們發(fā)送帶有工藝規(guī)范的樣品，我們將在內(nèi)部進行這些測試。

烘箱由西門子PLC過程控制器控制。這樣可以存儲 50 個帶有溫度曲線和分段的程序?？筛鶕?jù)要求提供水冷卻器、附加流量計、附加氣體管線、附加熱電偶等選件和附件。該設(shè)備適用于不同的應(yīng)用和客戶。尺寸小，方便烤箱室的裝卸。

烤箱可以輕松放置在標(biāo)準(zhǔn)實驗室工作臺上。適用于直徑達 100 mm (4") 的晶圓或基板尺寸達 100 mm x 100 mm

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列優(yōu)勢特點

? RTP-100，通過抽屜裝載

? 快速熱真空工藝爐，加熱速率高達 150 K/秒

? 溫度均勻性好

? 精確、受控的加熱速率和高冷卻速率

? 工藝變更時間短

? 舒適的燃氣控制

? 所需空間小

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列主要應(yīng)用：

德國unitemp快速熱處理和真空處理爐產(chǎn)品系列，我們的前置式多功能桌面設(shè)備適用于以下應(yīng)用：適用于各種半導(dǎo)體工藝的工具，新半導(dǎo)體工藝的實施，原型研究。